專業的深華公司提供的XJP-6A金相顯微鏡信息如下:
儀器適用范圍:
伴隨著半導體工業的發展,我國半導體圓晶生產已從較小的尺寸發展到現在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發的新產品。MA3000配備反射照明光學系統,反射式暗場和偏光系統,使它可用在相同尺寸的半導體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗場合。
儀器特性:
- l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
- l 視場數∮22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
- l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉換
- l 機架經計算機《有限元》分析處理,有高穩定性及抗振性
- l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導軌,使儀器具有穩定的使用精度及高的可靠性
- l 采用人機工程學的設計理念,調焦手輪前置,使之操作舒適。
高質量的光學系統,確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質量。
無限遠校正像差長距平場消色差物鏡
MA3000配用了本公司最新開發的視場數 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優良的成像質量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡
在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉換
MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉換,操作十分方便。
采用完善的柯拉照明系統
MA3000采用完善的柯拉照明系統,在整個視場內照明均勻。
MA3000大平臺工業顯微鏡配套表
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MA3000
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MA3020
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附 注
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1
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反射式工業檢驗顯微鏡主機
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反射式,手動轉換器,偏光附件
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2
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透反射式工業檢驗顯微鏡主機
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透反射式,手動轉換器,偏光附件
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3
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載物臺
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200X200行程,有快速離合裝置
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4
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玻璃載物板
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200X200
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5
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燈箱組
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12V50W反射光用光源
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6
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30°傾斜雙目組
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7
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五孔手動轉換器
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兩只裝暗場物鏡的大孔,三個裝明場物鏡的小孔
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8
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4×長距平場物鏡
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LPL 4X/0.10 ∞ 工作距離 27.236mm
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9
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10×長距平場物鏡
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LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
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10
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20×長距平場物鏡
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LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
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11
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40×長距平場物鏡
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LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
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12
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50×長距平場物鏡
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LPL 50X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
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13
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80×長距平場物鏡
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LPL 80X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
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14
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10X長距平場暗場物鏡
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D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm
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15
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20X長距平場暗場物鏡
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D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm
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16
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40X長距平場暗場物鏡
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D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm
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17
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50X長距平場暗場物鏡
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D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm
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18
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80X長距平場暗場物鏡
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D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm
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19
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4X平場物鏡
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PL 4X/0.10 ∞/0.17
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20
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10X平場物鏡
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PL 10X/0.25 ∞/0.17
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21
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20X平場物鏡
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PL 20X/0.66 ∞/0.17
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22
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40X平場物鏡
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PL 4X/0.10 ∞/0.17
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23
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100X平場物鏡
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PL 100X/1.25oil ∞/0.17
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24
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10×大視野目鏡
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●●
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WF10×-22
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25
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16×大視野目鏡
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○○
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○○
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WF16×-16
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26
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黃、綠、蘭、中性濾色片
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各一
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27
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毛玻璃片
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28
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35mm攝影接筒
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29
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2.5X攝影負目鏡
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30
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CCD攝像機接頭
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顯微鏡與DV02或視頻攝像機聯接用
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注:●為必備件,○為可選件。
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